臭氧发生器是用于制取臭氧气体（O3）的装置。臭氧易于分解无法储存，需现场制取现场使用（特殊的情况下可进行短时间的储存），所以凡是能用到臭氧的场所均需使用。在饮用水，污水，工业氧化，，食品加工和保鲜，医药合成，空间灭菌等领域广泛应用。产生的臭氧气体可以直接利用，也可以通过混合装置和液体混合参与反应。净化设备/臭氧发生器利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存 ，一般只能现场生产，随产随用。 臭氧发生器的分类 按臭氧产生的方式划分，主要有三种：一是高压放电式，二是紫外线照射式，三是电解式。
影响臭氧浓度的主要因素有
1、结构和加工精度；
2、冷却方式和条件；
3、驱动电压和驱动频率；
4、介电体材料；
5、原料气体中氧的含量及洁净和干燥度。
6、发生器电源系统的效率（效率高，热量转化少。）
